本書是叢書的專業(yè)分冊，介紹了國際上近年來進(jìn)行的有關(guān)生物和離子敏傳感器與MEMS技術(shù)的研究成果及目前在此領(lǐng)域的研究進(jìn)展。全書論述了生物、離子敏信息及獲取技術(shù)，生物與離子敏傳感技術(shù)的基礎(chǔ)，生物分子、細(xì)胞、組織、類器官傳感與MEMS技術(shù)，化學(xué)無機(jī)離子、有機(jī)離子傳感、重金屬離子傳感器和MEMS技術(shù)以及生物和離子敏傳感器與MEM

本分冊為叢書的專業(yè)分冊，本分冊重點(diǎn)講述氣體和濕度傳感器設(shè)計(jì)制作的基本原理、方法及其應(yīng)用。全書將氣體和濕度傳感技術(shù)分為三個(gè)方面：基礎(chǔ)原理、器件分類以及微系統(tǒng)應(yīng)用。本書首先闡述了氣體和濕度傳感器的基本概念，包括工作原理與結(jié)構(gòu)、主要性能參數(shù)、機(jī)理研究方法等；結(jié)合前沿研究進(jìn)展介紹了氣體和濕度敏感材料的合成方法與表征技術(shù)，以及不

本分冊為叢書的專業(yè)分冊，本分冊以傳感為核心，主要講述光電與光纖傳感技術(shù)，內(nèi)容包括與傳感器有關(guān)的光(輻射)源、光電導(dǎo)器件、結(jié)型光電器件、光電發(fā)射器件、光纖。同時(shí)本書還分別介紹了各種光纖傳感器，包括點(diǎn)式光纖傳感器、光纖光柵傳感器、分布式光纖傳感器、表面等離激元傳感器、MOEMS集成傳感器。對涉及的典型應(yīng)用如激光雷達(dá)，也做了

本書按照材料、基本概念、專業(yè)知識的分類。將說涉及應(yīng)該簡要講解的內(nèi)容共寫成12章。內(nèi)容包括敏感材料和與物理效應(yīng)，傳感器的分類、特性與建模仿真，力、扭矩與慣性傳感器原理與結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，熱工量中壓力、流量、溫度的測量與傳感器原理與結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，光、輻射與圖像傳感器原理與結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，磁學(xué)傳感器原理與結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，聲學(xué)量傳感器原理與結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，

本書結(jié)合作者的實(shí)踐經(jīng)驗(yàn)與研究成果，系統(tǒng)介紹了傳感器與MEMS微系統(tǒng)的設(shè)計(jì)、加工、制造涉及的基礎(chǔ)技術(shù)，包括硅基和非硅基材料的加工制造。具體涵蓋的設(shè)計(jì)制造工藝包括：MEMS設(shè)計(jì)、光刻、介質(zhì)層加工、金屬層加工、干法刻蝕、濕法刻蝕、摻雜、表面處理、晶圓鍵合、MEMS封裝、CMOS-MEMS集成、柔性傳感器加工、印刷電子工藝、二

本分冊介紹機(jī)械量傳感器及其應(yīng)用。包括傳感器靜態(tài)、動態(tài)性能的評估，傳感器用基本彈性敏感元件的力學(xué)特性；機(jī)械量傳感器用到的變電阻、變電容、變電感、壓電式、諧振式等基本測量原理；力、力矩、速度、轉(zhuǎn)速、角速度、加速度、振動、溫度、壓力以及流量傳感器等；機(jī)械量傳感器的典型應(yīng)用實(shí)例。

教材圍繞智能制造專業(yè)群建設(shè)需求，總體分為了傳感技術(shù)應(yīng)用篇和機(jī)器視覺應(yīng)用篇兩大部分，從傳感器理論基礎(chǔ)-開關(guān)量、模擬量、數(shù)字式傳感器應(yīng)用－傳感器與PLC綜合應(yīng)用－機(jī)器視覺基礎(chǔ)－視覺軟硬件系統(tǒng)選擇－視覺工具應(yīng)用－典型應(yīng)用的思路組織設(shè)計(jì)了教材內(nèi)容，包括：項(xiàng)目1認(rèn)識傳感器技術(shù)；項(xiàng)目2開關(guān)量傳感器應(yīng)用；項(xiàng)目3模擬量傳感器應(yīng)用；項(xiàng)目

本書以分布式光纖傳感器為主要對象，介紹了分布式光纖振動傳感器的傳感機(jī)理、振動信號定位及檢測方法，包括基于波分復(fù)用的分布式光纖振動傳感及定位原理、基于時(shí)延估計(jì)的分布式光纖振動傳感及定位原理、并進(jìn)行了定位試驗(yàn)研究；結(jié)合作者近年來相關(guān)的研究與應(yīng)用實(shí)踐，闡述了分布式光纖傳感的振動信號處理方法、基于經(jīng)驗(yàn)?zāi)�態(tài)分解的光纖振動信號特征

本書面對工程實(shí)踐中典型、實(shí)用的傳感器的原理、測量電路和應(yīng)用進(jìn)行了介紹和分析，內(nèi)容涵蓋電阻式傳感器、電容式傳感器、電感式傳感器、壓電式傳感器、磁電式傳感器、電渦流式傳感器、霍爾傳感器、熱電式傳感器、光電式傳感器、光纖傳感器、化學(xué)式傳感器、互感器等。

本書是在行業(yè)、企業(yè)專家和課程開發(fā)專家指導(dǎo)下，由校企“雙元”聯(lián)合編寫而成的。本書在內(nèi)容安排上充分考慮教學(xué)規(guī)律，突出專業(yè)特點(diǎn)，基于領(lǐng)域知識構(gòu)建、能力提升和素質(zhì)培養(yǎng)的現(xiàn)實(shí)需求，重點(diǎn)針對傳感器在智慧工廠的具體應(yīng)用，采用項(xiàng)目任務(wù)式、工作手冊式、新形態(tài)、融媒體教材的編排形式，介紹了智能傳感器的工程應(yīng)用和使用方法。