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《高等院校微電子專業(yè)叢書：微電子學(xué)概論（第3版）》是在2000年1月北京大學(xué)出版社出版的《微電子學(xué)概論》一書的基礎(chǔ)上形成的。本書主要介紹了微電子技術(shù)的發(fā)展歷史，半導(dǎo)體物理和器件物理基礎(chǔ)知識，集成電路及s0C的制造、設(shè)計以及計算機(jī)輔助設(shè)計技術(shù)基礎(chǔ)，光電子器件，微機(jī)電系統(tǒng)技術(shù)、半導(dǎo)體材料、封裝技術(shù)知識，最后給出了微電子技術(shù)

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微機(jī)電系統(tǒng)是20世紀(jì)末興起，并在21世紀(jì)初開始快速發(fā)展的高科技前沿領(lǐng)域。其所涉及領(lǐng)域不斷擴(kuò)大，相關(guān)研究也日趨深入。《微機(jī)電系統(tǒng)工程基礎(chǔ)》主要介紹相關(guān)的工程基礎(chǔ)知識�！段�機(jī)電系統(tǒng)工程基礎(chǔ)》共11章，較為詳細(xì)地介紹了半導(dǎo)體制作工藝、執(zhí)行器、微系統(tǒng)的工作機(jī)理及制作方法和應(yīng)用范圍、各種新發(fā)展的微檢測技術(shù)、微系統(tǒng)設(shè)計、建模方法和

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