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本選題詳細(xì)介紹了納米壓印及相關(guān)技術(shù)的工藝、原理、仿真、應(yīng)用和展望。納米壓印技術(shù)是在納米尺度獲得復(fù)制結(jié)構(gòu)的一種成本低而速度快的方法，它可以大批量重復(fù)性地在大面積上制備納米圖案結(jié)構(gòu)，并且所制出的高分辨率圖案具有相當(dāng)好的均勻性和重復(fù)性。不僅可以供從事微電子、微納加工、納米技術(shù)的科技人員參考，也由于納米壓印技術(shù)應(yīng)用的廣泛性，亦

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