隨著MEMS技術(shù)的不斷成熟和全面走向應(yīng)用，MEMS芯片的量產(chǎn)問題變得越來越重要。顯然MEMS芯片的量產(chǎn)必須在集成電路生產(chǎn)線上進(jìn)行，但是MEMS芯片制造與集成電路制造相比有明顯不同，這使得集成電路生產(chǎn)線在轉(zhuǎn)型制造MEMS芯片時會遇到一些特殊的工藝問題。本書主要圍繞如何利用集成電路平面工藝制造三維微機(jī)械結(jié)構(gòu)，進(jìn)而實現(xiàn)硅基M

本書以“新工科建設(shè)”需求為導(dǎo)向，設(shè)置教材內(nèi)容，圍繞Matlab/Simulink在控制系統(tǒng)中的應(yīng)用、機(jī)電控制系統(tǒng)的建模與性能分析、控制算法的計算機(jī)輔助設(shè)計與分析等內(nèi)容進(jìn)行編寫，從基本的軟件工具的使用，建模與控制方法的分析與應(yīng)用，再到實際案例的講解與實踐，內(nèi)容全面，重點(diǎn)突出。其中，前三章主要是對以MATLAB為主的仿真工

本書是根據(jù)工程教育認(rèn)證理念，遵循培養(yǎng)學(xué)生應(yīng)用實踐能力，根據(jù)作者多年的教學(xué)經(jīng)驗及近幾年來教學(xué)改革成果編寫而成的。 本書在內(nèi)容上注意突出應(yīng)用型特色，并兼顧機(jī)械行業(yè)發(fā)展的趨勢。全書共8章，主要內(nèi)容有：材料力學(xué)實驗、機(jī)械原理實驗、機(jī)械設(shè)計實驗、互換性與技術(shù)測量實驗、工程材料與成型技術(shù)實驗、機(jī)械制造技術(shù)基礎(chǔ)實驗、液壓與流體傳動

本書主要介紹經(jīng)典控制理論的基本內(nèi)容，涉及控制系統(tǒng)的基本原理、分析方法、設(shè)計校正及應(yīng)用實例等。本書共分5章，主要內(nèi)容包括反饋控制的基本概念、控制系統(tǒng)的數(shù)學(xué)模型、控制系統(tǒng)時間響應(yīng)、穩(wěn)定性、穩(wěn)態(tài)誤差分析、頻率特性分析、系統(tǒng)的綜合與校正。本書旨在培養(yǎng)學(xué)生分析和解決復(fù)雜工程問題的能力，在理論分析的基礎(chǔ)上，結(jié)合機(jī)械行業(yè)的工程實際，

"教材以培養(yǎng)應(yīng)用型、創(chuàng)新型高素質(zhì)技術(shù)技能人才為目標(biāo)，參照相關(guān)國家職業(yè)標(biāo)準(zhǔn)及有關(guān)行業(yè)職業(yè)技能等級認(rèn)定規(guī)范編寫的，結(jié)合職業(yè)院校機(jī)電專業(yè)學(xué)生的學(xué)情和學(xué)習(xí)特點(diǎn)，以工業(yè)自動控制中典型項目為載體，采用項目化課程模式編寫，每個項目分成若干個任務(wù)�！叭蝿�(wù)引領(lǐng)、項目驅(qū)動”的教學(xué)方法貫穿于教學(xué)全過程。全書涵蓋了機(jī)械制造技術(shù)、傳感器檢測技術(shù)

《機(jī)電控制技術(shù)（第二版）》以電機(jī)為核心，以控制為主線，將機(jī)電系統(tǒng)有機(jī)結(jié)合起來，全面系統(tǒng)地闡述機(jī)電系統(tǒng)的控制問題，研究和分析機(jī)電系統(tǒng)的特性、控制原理、控制系統(tǒng)設(shè)計方法。內(nèi)容涵蓋機(jī)電系統(tǒng)傳動力學(xué)、電機(jī)的原理與特性、基本控制原理和技術(shù)�！稒C(jī)電控制技術(shù)（第二版）》共10章，內(nèi)容包括：機(jī)電控制技術(shù)概述、機(jī)電系統(tǒng)傳動力學(xué)、直流電機(jī)

本書從工程實際應(yīng)用角度出發(fā)，對機(jī)電一體化系統(tǒng)設(shè)計、安裝與調(diào)試中所涉及到的PLC、傳感器、伺服驅(qū)動、現(xiàn)場總線及工業(yè)組態(tài)等相關(guān)技術(shù)的應(yīng)用進(jìn)行認(rèn)知性介紹。

本書對微納機(jī)電系統(tǒng)與微納傳感器領(lǐng)域的主要技術(shù)進(jìn)行了分類闡述，全面總結(jié)了技術(shù)的發(fā)展現(xiàn)狀，客觀分析了技術(shù)的發(fā)展態(tài)勢，從學(xué)科的發(fā)展規(guī)律和研究特點(diǎn)出發(fā)，前瞻性地思考了技術(shù)的發(fā)展思路與發(fā)展方向，提出了我國發(fā)展該學(xué)科的資助機(jī)制與政策建議。

本書是按照高等院�！皺C(jī)械工程”專業(yè)研究生培養(yǎng)目標(biāo)編寫的，講述現(xiàn)代機(jī)械控制系統(tǒng)的基本原理、設(shè)計方法以及在現(xiàn)代機(jī)械工程自動控制系統(tǒng)中的應(yīng)用。全書共七章，內(nèi)容包括緒論、機(jī)械控制系統(tǒng)的數(shù)學(xué)模型、機(jī)械控制系統(tǒng)數(shù)學(xué)模型求解及分析、機(jī)械控制系統(tǒng)的穩(wěn)定性分析、機(jī)械控制系統(tǒng)校正與設(shè)計、**控制理論基礎(chǔ)、智能控制理論基礎(chǔ)。通過工程應(yīng)用實例

本書包括ANSYSWorkbench基礎(chǔ)知識、工程數(shù)據(jù)、幾何模型創(chuàng)建、網(wǎng)格劃分、線性結(jié)構(gòu)靜力學(xué)分析、結(jié)構(gòu)動力學(xué)分析、結(jié)構(gòu)非線性分析、綜合應(yīng)用8部分內(nèi)容，全書包含33個應(yīng)用實例，基本涵蓋了ANSYSWorkbench在機(jī)械工程領(lǐng)域的基本應(yīng)用。讀者可以跟隨本書所介紹的分析步驟快速入門，然后通過練習(xí)與操作，進(jìn)一步理解這些內(nèi)容