本書是一本有關碳化硅材料、器件工藝、器件和應用方面的書籍,其主題包括碳化硅的物理特性、晶體和外延生長、電學和光學性能的表征、擴展缺陷和點缺陷,器件工藝、功率整流器和開關器件的設計理念,單/雙極型器件的物理和特征、擊穿現象、高頻和高溫器件,以及碳化硅器件的系統應用,涵蓋了基本概念和新發(fā)展現狀,并針對每個主題做深入的闡釋,包括基本的物理特性、新的理解、尚未解決的問題和未來的挑戰(zhàn)。
本書作者在碳化硅研發(fā)領域有著總共45年以上的經歷,是當今碳化硅研發(fā)和功率半導體領域中的領軍人物。通過兩位專家的執(zhí)筆,全景般展示了碳化硅領域的知識和進展。目前,隨著碳化硅基功率器件進入實用化階段,本書的翻譯出版對于大量已經進入和正在進入該行業(yè),急需了解掌握該行業(yè)但不諳英語的專業(yè)人士是一本難得的專業(yè)書籍。
本書可以作為從事碳化硅電力電子材料、功率器件及其應用方面專業(yè)技術人員的參考書,也可以作為高等學校微電子學與固體物理學專業(yè)高年級本科生、研究生的教學用書或參考書。同時,該書對于在諸如電力供應、換流器-逆變器設計、電動汽車、高溫電子學、傳感器和智能電網技術等方面的設計工程師、應用工程師和產品經理也是有益的。
作為各類電力電子系統中的關鍵部件,功率半導體器件受到越來越多的關注。
功率器件的主要應用包括電源、電機控制、可再生能源、交通、通信、供熱、機器人技術及電力傳輸和分配等方面。半導體功率器件在這些系統中的應用可以顯著節(jié)省能源,加強化石燃料的節(jié)約,并減少環(huán)境污染。
隨著一些新興市場的出現,包括光伏電池和燃料電池的電能變換器、電動汽車(EV)和混合動力電動汽車(HEV)用電能變換器和逆變器,以及智能電力設備配電網的控制,電力電子在過去的十年里再次引發(fā)全新的關注。目前,半導體功率器件是未來全球節(jié)能和電能管理的關鍵推動力之一。
在過去的幾十年里,硅功率器件得到了顯著的提升。然而,這些器件正在接近由硅的基本材料特性所限定的性能極限,進一步性能的提升只有通過遷移到更強大的半導體材料。碳化硅(SiC) 是一種有著優(yōu)異物理和電氣性能的寬禁帶半導體,適合作為未來的高電壓、低損耗電力電子的基礎。
SiC是一種Ⅳ -Ⅳ族化合物半導體,有著23~33eV的禁帶寬度(取決于晶體結構,或多型體),它擁有10倍于Si的擊穿電場強度、3倍于Si的熱導率,使得SiC對于大功率和高溫器件具有特別的吸引力。例如,在給定阻斷電壓下,SiC功率器件的通態(tài)電阻比Si器件的要低好幾個數量級,這會大大提高電能變換效率。
SiC的寬禁帶特性和高熱穩(wěn)定性使得某些類型的SiC器件可以在結溫達300℃或者更高的溫度下無限期工作而不會產生可測量的性能退化。在寬禁帶半導體中,SiC是比較特殊的,因為它可以容易地在超過5個數量級的范圍進行p型或者n型摻雜;另外,SiC是唯一的化合物半導體,其自然氧化物是SiO2,是和硅的自然氧化物一樣的絕緣體,這使得用SiC制造整個基于MOS(金屬-氧化物-半導體) 家族的電子器件成為可能。
自20世紀80年代以來,有關SiC材料和器件技術的開發(fā)得到了持續(xù)的投入。
基于20世紀80年代和90年代的多項技術突破,SiC肖特基勢壘二極管(SBD)的商業(yè)化產品于2001年成功面世,并且在過去的若干年里,SiCSBD的市場得到了迅速發(fā)展。SBD被應用于各種類型的電力系統中,包括開關電源、光伏變換器及空調、電梯和地鐵的電機控制。SiC功率開關器件的商業(yè)化生產開始于2006~2010年間,主要有JFET(結型場效應晶體管) 和MOSFET(金屬-氧化物-半導體場效應晶體管)。這些器件得到了市場廣泛接受,現在,很多行業(yè)已經開始利用這些SiC功率開關器件所帶來的好處。作為一個例子,根據SiC元器件應用的程度,一個電源或逆變器的體積和重量可以減少4~10倍。除了尺寸和重量方面的減少外,使用SiC元器件還可以使功耗也得到了大幅降低,從而使電力變換系統的效率得到顯著提高。
近年來,SiC專業(yè)社團在學術界和工業(yè)界發(fā)展迅猛,越來越多的公司在致力于發(fā)展SiC晶圓和/或器件的生產制造能力,相關的年輕科學家和工程師的數量也在與日俱增。然而,現在幾乎沒有教科書在從材料到器件再到應用這樣寬的范圍內涵蓋SiC技術,因此,這些科學家、工程師和研究生會是本書的潛在讀者。作者也希望本書對這些讀者來說是及時的和有益的,并使得他們可以迅速獲得在此領域內實踐所需的基本知識。由于本書同時包涵了基礎和高級概念,需要讀者有一定的半導體物理及器件基礎,不過,對于材料科學或者電氣工程專業(yè)的研究生來說,閱讀本書將不會有困難。
本書所涉及的主要內容包括SiC的物理特性、晶體和外延生長、電學和光學性能的表征、擴展缺陷和點缺陷、器件工藝、功率整流器和開關器件的設計理念、單/雙極型器件的物理和特征、擊穿現象、高頻和高溫器件以及SiC器件的系統應用,涵蓋了基本概念和最新發(fā)展現狀。特別是,我們力圖對每個主題做深入的闡釋,包括基本的物理特性、最新的理解、尚未解決的問題和未來的挑戰(zhàn)。
最后,本書作者致謝這一領域的一些同事和先驅,特別感謝WJChoyke教授(匹茲堡大學)、HMatsunami榮譽教授(京都大學)、GPensl博士(埃爾蘭根-紐倫堡大學,已故)、EJanzén教授(林雪平大學)和JWPalmour博士(科銳公司),感謝他們對本領域和我們對本領域的認識的寶貴貢獻;我們也對Wiley出版社的JamesMurphy先生和ClarissaLim女士的指導和耐心表示感謝。最后,我們要感謝我們的家人在寫作本書時給予的體貼支持和鼓勵,沒有他們的支持和理解,就不會有本書的出版。
木本恒暢詹姆士A.庫珀
本書的作者TsunenobuKimoto是京都大學電子科學與工程系的一名教授,長期
從事碳化硅材料、表征、器件工藝以及功率器件等方面的研究,是日本碳化硅界的
領軍人物,在碳化硅的外延生長、光學和電學特性表征、缺陷電子學、離子注入、
金屬-氧化物-半導體(MOS) 物理和高電壓器件等方面均有建樹。
而另一位作
者,美國普渡大學電氣與計算機工程學院的JamesACooper則是一位半導體界的元
老級人物,他在MOS器件、IC及包括硅和碳化硅在內的功率器件方面都有研究和
建樹,特別是碳化硅基UMOSFET、肖特基二極管、UMOSFET、橫向DMOSFET、
BJT和IGBT等的開發(fā)做出了突出貢獻。
譯者序
原書前言
原書作者簡介
第1章 導論1
。.1 電子學的進展1
1.2 碳化硅的特性和簡史3
。.2.1 早期歷史3
。.2.2。樱椋镁w生長的革新4
。.2.3 SiC功率器件的前景和展示5
。.3 本書提綱6 參考文獻7
第2章 碳化硅的物理性質10
第3章 碳化硅晶體生長36
第4章 碳化硅外延生長70
第5章 碳化硅的缺陷及表征技術117
第6章 碳化硅器件工藝177
第7章 單極型和雙極型功率二極管262
第8章 單極型功率開關器件286
第9章 雙極型功率開關器件336
9.1 雙極結型晶體管(BJT) 336
。.1.1 內部電流337
。.1.2 增益參數338
。.1.3 端電流340
。.1.4 電流-電壓關系341
9.1.5 集電區(qū)中的大電流效應:飽和和準飽和343
。.1.6 基區(qū)中的大電流效應:Rittner效應347
。.1.7 集電區(qū)的大電流效應:二次擊穿和基區(qū)擴散效應351
。.1.8 共發(fā)射極電流增益:溫度特性353
。.1.9 共發(fā)射極電流增益:復合效應353
。.1.10 阻斷電壓355
9.2 絕緣柵雙極型晶體管(IGBT) 356
。.2.1 電流-電壓關系357
。.2.2 阻斷電壓367
9.2.3 開關特性368
。.2.4 器件參數的溫度特性373
9.3 晶閘管375
。.3.1 正向導通模式377
。.3.2 正向阻斷模式和觸發(fā)381
。.3.3 開通過程386
。.3.4 dV/dt觸發(fā)388
。.3.5 dI/dt的限制389
。.3.6 關斷過程390
。.3.7 反向阻斷模式397
參考文獻397
第10章 功率器件的優(yōu)化和比較398
第11章 碳化硅器件在電力系統中的應用425
第12章 專用碳化硅器件及應用466
附錄490
附錄A。矗龋樱椋弥械牟煌耆s質電離490
參考文獻494
附錄B 雙曲函數的性質494
附錄C 常見SiC多型體主要物理性質497
C.1 性質497
。.2 主要物理性質的溫度和/或摻雜特性498
參考文獻499