來源于國內(nèi)各LTCC研制場所*真實的實踐經(jīng)驗總結，是各單位LTCC技術人員智慧結晶的匯總。《低溫共燒陶瓷工藝技術手冊》主要介紹了LTCC技術的發(fā)展歷程及工藝路線，LTCC生產(chǎn)中常用的生瓷材料及導體材料，基礎工藝，LTCC基板制造中常用的檢測手段及應用中的關鍵技術，并對LTCC基板制造中的常見問題進行了匯總，對其解決方法進行了調(diào)研。*后對LTCC技術未來的發(fā)展方向進行了展望。
《低溫共燒陶瓷工藝技術手冊》不僅可以作為LTCC工藝技術摸索的參考書，為技術人員的工藝摸索提供指導，也可作為未來LTCC技術人才培養(yǎng)的參考書。為大家提供系統(tǒng)詳實的第一手資料。
低溫共燒陶瓷（LTCC）技術具有集成度高、體積小、質(zhì)量小、介質(zhì)損耗小、高頻特性優(yōu)良等優(yōu)點，在微波電子領域具有獨特的發(fā)展優(yōu)勢。該技術已在國外星載電子|殳備上得到廣泛應用，而國內(nèi)星載LTCC產(chǎn)品的應用還處于起步階段。航天五院西安分院近年來緊密跟蹤該技術的發(fā)展：2004年起開始進行LTCC基板探索性理論研究，2010年開始在部分預研課題中初步應用，2012年逐步轉入型號初樣研制。2013年多個型號正樣產(chǎn)品大量應用，同時多方開展預先研究課題，并積極開展自主建線的工作，以期在LTCC技術星載應用領域走向國際前沿。
鑒于西安分院建設LTCC生產(chǎn)線的條件已經(jīng)完備，且宇航產(chǎn)品對LTCC技術的需求日益迫切，技改已批復了西安分院籌建LTCC生產(chǎn)線所需的關鍵設備。目前設備招標工作已經(jīng)全部完成，設備即將陸續(xù)就位。但西安分院之前的LTCC產(chǎn)品全部依賴外協(xié)或外購，在生產(chǎn)方面幾乎零基礎，因此急需提前儲備LTCC工藝技術知識，為西安分院LTCC生產(chǎn)線建設初期的設備及工藝開發(fā)打好基礎，本書即在這個背景下誕生的。
由于LTCC技術投入工程應用的時間相對較短，目前國內(nèi)外鮮有針對LTCC工藝技術的系統(tǒng)性書籍。為了給西安分院LTCC生產(chǎn)線工藝開發(fā)提供一本系統(tǒng)翔實的工具書，LTCC工作組成員對LTCC工藝技術開展了廣泛的調(diào)研并匯編了此書。本書內(nèi)容主要來源于已公開發(fā)表的刊物，參考國內(nèi)LTCC技術的工程應用實例，按照LTCC技術的基本流程，分工序?qū)鴥?nèi)各LTCC生產(chǎn)線的工藝技術進行了梳理與匯編，并對生產(chǎn)中的常見問題進行匯總，形成一本相對全面的指導性手冊。
本書的章節(jié)主要按照LTCC基板制造流程劃分，其中第l章介紹了LTCC技術的發(fā)展歷程及工藝路線，讓讀者對LTCC技術有一個整體的認識；第2章主要對LTCC生產(chǎn)中常用的生瓷材料及導體材料進行了介紹；第3章則立足LTCC基礎工藝，詳細介紹了LTCC工藝從打孔到后燒的一整套流程；第4章對AOj及飛針兩種LTCC基板制造中常用的檢測手段進行了闡述；第5章則是關于LTCC基板制造及應用中的關鍵技術，如收縮率控制、平整度控制、組裝工藝性等；第6章對LTCC基板制造中的常見問題進行匯總，并對其解決方法進行了調(diào)研。以供西安分院未來在生產(chǎn)實踐中加以借鑒；最后，在第7章對LTCC技術未來的發(fā)展方向進行了展望。
我們希望本書的編寫與出版能夠為西安分院從事LTCC技術研究的工藝師提供一份綜合性的參考資料，從而在遇到問題時可以有據(jù)可依，少走彎路；為選用LTCC技術的設計師提供工藝信息，從而更好地進行工藝性設計；為未來參與LTCC技術工作的人員提供系統(tǒng)的理論培訓資料。
由于編委會成員經(jīng)驗有限，書中難免會有錯誤，懇切希望各位讀者多提寶貴意見。
第1章 LTCC技術概述
1．1 國內(nèi)外發(fā)展現(xiàn)狀
1．1．1 國內(nèi)發(fā)展現(xiàn)狀
1．1．2 國外發(fā)展情況
1．2 LTCC工藝技術流程
1．3 LTCC技術特點
1．4 小結
參考文獻
第2章 LTCC材料
2．1 LTCC材料簡介
2．2 LTCC生瓷材料
2．2．1 玻璃-陶瓷
2．2．2 玻璃+陶瓷
2．2．3 單相陶瓷
2．2．4 LTCC生瓷材料的發(fā)展方向
2．3 LTCC導體材料
2．3．1 Ferro A6常用配套金屬漿料
2．3．2 Dupont 951常用配套金屬漿料
2．4 小結
參考文獻
第3章 LTCC基板制造工藝流程
3．1 打孔
3．1．1 生瓷片打孔工藝簡介
3．1．2 數(shù)控沖床帶模具沖孔
3．1．3 逐個打孔
3．1．4 小結
3．2 填孔
3．2．1 填孔工藝簡介
3．2．2 填孔工藝及控制技術
3．2．3 填孔材料熱應力的影響
3．2．4 填孔材料收縮率的控制
3．2．5 小結
3．3 印刷
3．3．1 印刷工藝簡介
3．3．2 印刷質(zhì)量控制
3．3．3 小結
3．4 疊層
3．4．1 疊層方法
3．4．2 疊層工藝中的關鍵技術
3．4．3 疊層效果檢驗方法
3．4．4 小結
3．5 壓合
3．5．1 壓合技術
3．5．2 腔體產(chǎn)品壓合注意事項
3．6 熱切
3．6．1 LTCC熱切工藝簡介
3．6．2 常見熱切缺陷
3．6．3 熱切缺陷的產(chǎn)生機理
3．6．4 小結
3．7 共燒
3．7．1 LTCC共燒的作用
3．7．2 共燒的關鍵控制點
3．7．3 異質(zhì)材料的燒結
3．7．4 零收縮燒結
3．7．5 小結
3．8 后燒
3．8．1 后燒工藝簡介
3．8．2 后燒工藝方法
3．8．3 后燒對LTCC基板性能的影響
3．8．4 小結
3．9 LTCC基板砂輪劃片技術
3．9．1 概述
3．9．2 金剛石砂輪劃片工藝簡介
3．9．3 LTCC基板砂輪劃片質(zhì)量控制
3．9．4 小結
3．10 LTCC基板激光劃片技術
3．10．1 概述
3．10．2 激光加工的基本原理
3．10．3 激光劃片機的結構
3．10．4 LTCC基板激光劃片關鍵技術
3．10．5 LTCC基板劃片的技術難題及解決辦法
3．10．6 小結
參考文獻
第4章 檢測
4．1 概述
4．2 LTCC自動光學檢測技術
4．2．1 LTCC自動光學檢測技術簡介
4．2．2 LTCC制備與AOI檢測
4．2．3 AOI檢測流程
4．2．4 結果及分析
4．2．5 小結
4．3 LTCC飛針測試
4．3．1 LTCC飛針測試工藝簡介
4．3．2 飛針測試原理
4．3．3 飛針測試工藝過程
4．3．4 測試不良原因分析
4．3．5 小結
4．4 LTCC基板可靠性評估
4．4．1 可靠性試驗
4．4．2 可靠性評價
4．5 小結
參考文獻
第5章 LTCC關鍵技術
5．1 基板收縮率
5．1．1 基板收縮率控制工藝簡介
5．1．2 自約束零收縮材料
5．1．3 平面零收縮工藝技術
5．1．4 影響收縮率的因素
5．1．5 小結
5．2 基片平整度控制
5．2．1 基片平整度控制工藝簡介
5．2．2 影響LTCC平整度的因素
5．2．3 小結
5．3 LTCC腔體制作技術
5．3．1 LTCC腔體制作工藝簡介
5．3．2 LTCC基板腔體及微流道制作工藝
5．3．3 LTCC腔體結構的無變形控制技術
5．3．4 小結
5．4 RLC制作技術
5．4．1 LTCC上電阻的制作
5．4．2 LTCC上電容的制作
5．4．3 LTCC上電感的制作
5．5 LTCC調(diào)阻
5．5．1 調(diào)阻工藝簡介
5．5．2 激光調(diào)阻機理
5．5．3 激光調(diào)阻系統(tǒng)
5．5．4 調(diào)阻工藝及參數(shù)
5．5．5 工作程序
5．5．6 切割類型
5．5．7 切槽缺陷分析及合格切槽要求
5．5．8 激光調(diào)阻的質(zhì)量控制
5．5．9 小結
5．6 LTCC基板工藝性
5．6．1 LTCC基板應用簡介
5．6．2 LTCC基板組裝工藝特點及要求
5．6．3 LTCC基板清洗工藝
5．6．4 LTCC基板貼裝工藝
5．6．5 基板膜層與鍵合工藝匹配性
5．6．6 小結
5．7 基于LTCC的一體化基板／封裝技術
5．7．1 一體化基板／封裝技術概述
5．7．2 LTCC在一體化基板／封裝中的應用
5．7．3 LTCC一體化基板／封裝技術的發(fā)展方向
5．8 LTCC在系統(tǒng)級封裝中的應用
5．8．1 SiP的概念
5．8．2 LTCC在SiP中的典型應用
5．8．3 基于LTCC的SiP中的熱管理
5．9 LTCC溫度控制技術
5．9．1 溫度控制的必要性
5．9．2 LTCC組件的被動熱控技術
5．9．3 LTCC組件的主動熱控技術
5．10 LTCC基板快速制作技術
參考文獻
第6章 LTCC基板制造中的常見問題及解決辦法
6．1 打孔過程
6．1．1 激光打孔
6．1．2 機械沖孔
6．2 填孔過程
6．2．1 漏孔現(xiàn)象
6．2．2 填充不飽滿
6．3 印刷過程
6．3．1 殘線與斷線
6．3．2 其他質(zhì)量問題
6．3．3 印刷質(zhì)量問題案例
6．4 疊層（疊片與層壓）過程
6．4．1 常見問題及原因
6．4．2 解決手段
6．5 熱切過程
6．6 燒結過程
6．7 小結
參考文獻
第7章 LTCC技術未來的發(fā)展方向
7．1 LTCC應用現(xiàn)狀
7．1．1 在高密度封裝中的應用
7．1．2 在微波無源元件中的應用
7．2 發(fā)展趨勢
7．2．1 行業(yè)需要LTCC產(chǎn)業(yè)標準
7．2．2 小型高頻LTCC電路
7．2．3 LTCC無源器件高密度集成化
7．2．4 航天領域
7．3 LTCC典型應用
7．4 結束語
參考文獻
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