本書主要介紹了微機電系統(tǒng)概述、微機電系統(tǒng)制造、微機電系統(tǒng)設計、微機電系統(tǒng)實例等內(nèi)容。
聞邦椿,1930年9月29日出生于杭州,祖籍浙江溫嶺,東北大學教授,中國科學院院士,我國振動利用工程學科主要奠基者。國際機器理論與機構學聯(lián)合會(IFToMM)中國委員會委員,國際轉(zhuǎn)子動力學技術委員會委員,亞太振動會議指導委員會委員,中國振動工程學會名譽理事長。曾任第六、七、八、九屆全國政協(xié)委員,國務院學位委員會第二、三、四屆機械工程學科評議組成員,中國振動工程學會理事長,《振動工程學報》主編等職。曾獲國際科技獎2項,國家技術發(fā)明獎和科技進步獎5項,省、部級一、二等科技獎10余項。