本書從當今世界面臨能源危機的現(xiàn)實問題出發(fā),深入淺出地介紹了使用磁控濺射方法制備β-FeSi2,薄膜的方法和工藝及太陽能薄膜電池的制備測試結果。全書共分7章,包括緒論、半導體太陽能電池基本原理制備設備與表征設備、β-FeSi2薄膜的制備及特性研究、β-FeSi2薄膜異質結的制備及性能研究、β-FeSi2薄膜電池模擬,β-FeSi2薄膜電池的制備研究等。涉及材料性質的理論研究、制備測試及其實際應用研究,對材料的制備工藝、太陽能電池結構的理論模擬和器件制備工藝,均有一定的闡述,對后來的研究者具有一定的借鑒意義。
本書適合從事半導體太陽能電池及其相關專業(yè)的師生使用.也可作為從事薄膜太陽能電池研究的技術人員的參考用書。
前言
第1章 緒論
1.1 引言
1.2 β-FeSi2的基本性質
1.3 β-FeSi2薄膜的制備及應用
第2章 半導體太陽能電池基本原理
2.1 PN結對太陽光的吸收
2.2 太陽能電池基本原理
2.3 太陽能電池基本結構
2.4 太陽能電池參數(shù)分析
第3章 制備設備與表征設備
3.1 制備設備
3.2 表征設備
第4章 β-FeSi2薄膜的制備及影響因素
4.1 β-FeSi2薄膜的制備參數(shù)
4.2 退火溫度的影響
4.3 退火時間的影響
4.4 Fe膜厚度的影響
4.5 氣體流量的影響
4.6 濺射氣壓的影響
4.7 濺射功率的影響
4.8 β-FeSi2薄膜的光學特性
4.9 β-FeSi2薄膜的電學特性
第5章 β-FeSi2:薄膜異質結的制備及性能研究
5.1 β-FeSi2/Si異質結
5.2 Si/β-FeSi2/Si異質結
第6章 β-FeSi2:薄膜電池的模擬
6.1 AMPS—lD軟件
6.2 其他軟件
6.3 β-FeSi2/薄膜厚度的確定
6.4 β-FeSi2/Si薄膜電池的模擬
6.5 Si/β-FeSi2/Si薄膜電池的模擬
第7章 β薄膜電池的制備研究
7.1 β/FeSi2異質結電池
7.2 Si/β-FeSi2/Si異質結電池
參考文獻