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聚焦離子束：失效分析 
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9 7 2 8 8 7 4 3 9 0 6 5 0 讀者對象:學術專著
聚焦離子束（FocusedIonBeam，FIB）是微納材料芯片失效分析的核心技術裝備之一。隨著材料、器件的微尺度化（納米甚至原子尺度）、高集成化（每平方厘米集成10億個以上的功能單元）、多功能化（在多種外場條件下工作），越來越多的材料微結構研究、器件研發(fā)涉及聚焦離子束。本書從聚焦離子束的結構原理出發(fā)，緊密聯系應用與實踐，對聚焦離子束在失效分析中的應用和操作，結合案例進行詳解，以期對高校研究生、高年級本科生和高科技企業(yè)研發(fā)人員的相關學習和培訓起到指導作用。
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