集成電路是現代電子技術的核心，隨著集成電路產業(yè)迅猛發(fā)展，對專業(yè)人才的需求正急劇上升。本書從集成電路制造的工藝、設備、廠務3個關鍵內容出發(fā)，融合了集成電路制造的理論基礎和前沿實踐技術，深入淺出地探討了集成電路制造的全過程。通過大量工藝設備的使用案例分析、實驗數據、設備操作標準程序和教學實踐視頻，幫助讀者掌握實際操作。此外，在介紹當前主流制造技術的同時，還深入講解了產業(yè)界量產設備的基本原理、動力需求和應用實踐，使讀者理解產業(yè)界量產設備與科研設備的區(qū)別。上�？萍即髮W材料器件中心聚焦集成電路先進制造領域卓越工程師的人才培養(yǎng)任務，依托先進一流的設備資源、資深工程師團隊和豐富的教學實訓經驗，聯(lián)合產業(yè)界專家，將集成電路先進制造理論與實踐有機結合，精心打造本書，旨在為讀者提供全面、深入且實用的學習資料。