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電子工藝化學(xué)原理
現(xiàn)代電子科學(xué)沿著微型化、智能化、精確化和平民化的方向高速發(fā)展,集成電路技術(shù)的節(jié)點(diǎn)日益縮小,集成度越來越高,這勢(shì)必對(duì)作為基礎(chǔ)的新型電子材料研制和加工技術(shù)的不斷革新提出了越來越高的要求。這就需要大批從業(yè)人員既通曉電子技術(shù),又具備扎實(shí)化學(xué)功底高效地研究和解決問題,并創(chuàng)造性地研發(fā)出具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的新技術(shù)。本書正是針對(duì)這一需求,以現(xiàn)代電子技術(shù)為核心,以化學(xué)理論為基礎(chǔ),結(jié)合電子器件典型產(chǎn)品,論述電子工業(yè)中與化學(xué)相關(guān)的問題和原理。本書的主要內(nèi)容大體分為電子工藝中的常用材料、凈化工藝和集成電路制造工藝三大部分,圍繞它們?cè)谏a(chǎn)中各種工藝的化學(xué)原理、規(guī)律、化學(xué)反應(yīng)及相關(guān)材料的化學(xué)知識(shí)進(jìn)行闡述。本書可作為相關(guān)學(xué)科和領(lǐng)域的本科生教材和參考用書,也可為相關(guān)從業(yè)人員提供參考。
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