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本書從集成電路設計與工藝的基礎實驗出發(fā)，著重介紹了模擬和數(shù)字集成電路設計實驗，以及集成電路制造工藝和封裝技術，緊密關注集成電路的學術前沿，注重理論與工程實踐相結合。全書內(nèi)容包括：微電子器件實驗、模擬集成電路設計實驗、數(shù)字集成電路設計實驗、集成電路版圖設計實驗、集成電路制造工藝實驗、成電路封裝工藝實驗，以及集成電路綜合設計實驗等。本書注重培養(yǎng)學生分析與處理集成電路設計與工藝問題的實際能力，可為高等學校集成電路及微電子技術相關專業(yè)的實驗課提供一本內(nèi)容豐富全面的實驗教材，可供高等職業(yè)學校相近專業(yè)以及集成電路技術人員參考使用。

蔡劍華【主編】【現(xiàn)當代】 ———————————————————— 蔡劍華，教授，博士，碩士生導師，湖南文理學院數(shù)理學院院長，曾任湖南文理學院物理與電子科學學院副院長、學科建設處副處長。系湖南省重點實驗室“光電信息集成與光學制造技術”（校企共建）校方實驗室主任，湖南省光學學會、量子科技學會、物理學會和物聯(lián)網(wǎng)學會理事，湖南省應用特色學科—電子科學與技術學術方向帶頭人，湖南省常德市“十百千工程”人才，湖南省常德市“十佳”創(chuàng)新青年榜樣，湖南省、廣東省和江西省自然科學基金通訊評審專家。主要研究方向為光電信息（數(shù)據(jù)）處理等，主持或參與完成國家自然科學基金項目3項，省部級科研項目8項，省教改項目2項，市級及橫向項目10余項。發(fā)表論文70余篇，其中SCI、EI收錄40余篇，出版專著（獨著）2部，教材2部，已授權國家發(fā)明專利9項，實用新型專利10項。主講電子信息科學與技術、光電信息科學與工程專業(yè)的《單片機原理與應用》、《EDA技術》等課程。彭元杰【主編】【現(xiàn)當代】 ———————————————————— 彭元杰，男，碩士、講師，長期從事集成電路設計與集成系統(tǒng)、電子信息科學與技術專業(yè)的實驗教學和教學改革研究，主持《數(shù)字集成電路設計》《EDA技術》《集成電路版圖設計》等課程的理論教學和實驗教學工作，自編多門課程實驗講義。王章弘【主編】【現(xiàn)當代】 ———————————————————— 王章弘，男，碩士，助教，從事集成電路設計與集成系統(tǒng)、電子信息科學與技術專業(yè)的專業(yè)課程及實驗教學，主持《集成電路工藝》《模擬CMOS集成電路設計》《集成電路工藝實踐》等課程的理論教學和實驗教學工作。

目錄第1 章微電子器件實驗 ........................................................................................................... 1 實驗一四探針法測量半導體（金屬材料）電阻率 ........................................................ 1 實驗二 PN 結變溫特性研究.............................................................................................. 4 實驗三 BJT/MOS 器件靜態(tài)特性分析 .............................................................................. 6 實驗四功率MOSFET 器件CV 特性分析 ...................................................................... 9 實驗五晶體管特征頻率實驗 .......................................................................................... 15 實驗六 MOSFET 器件動態(tài)開關特性分析 ..................................................................... 19 第2 章模擬集成電路設計實驗 ............................................................................................. 23 實驗一 EDA 仿真軟件Hspice 及CMOS 工藝技術參數(shù)提取 ...................................... 23 實驗二 CMOS 差分放大器設計 ..................................................................................... 31 實驗三兩級運算放大器設計 .......................................................................................... 37 第3 章數(shù)字集成電路設計實驗 ............................................................................................. 42 實驗一數(shù)據(jù)選擇器設計 .................................................................................................. 42 實驗二譯碼器設計 .......................................................................................................... 44 實驗三 4 位全加器設計 ................................................................................................... 48 實驗四同步計數(shù)器 .......................................................................................................... 51 實驗五數(shù)控分頻器的設計 .............................................................................................. 53 實驗六音樂播放器的設計 .............................................................................................. 55 第4 章集成電路版圖設計實驗 ............................................................................................. 58 實驗一 Cadence 軟件使用入門 ....................................................................................... 58 實驗二 MOS 場效應晶體管的版圖 ................................................................................ 69 實驗三 CMOS 反相器的版圖 ......................................................................................... 75 實驗四 D 觸發(fā)器的版圖 .................................................................................................. 78 實驗五反相器的版圖驗證 .............................................................................................. 82 第5 章集成電路制造工藝實驗 ............................................................................................. 92 實驗一晶體生長、晶圓片制造實驗 .............................................................................. 92 實驗二氧化實驗............................................................................................................ 103 iv 集成電路設計實驗教程實驗三擴散實驗............................................................................................................ 107 實驗四離子注入實驗 ..................................................................................................... 111 實驗五薄膜淀積實驗 ..................................................................................................... 115 實驗六光刻實驗............................................................................................................ 123 第6 章集成電路封裝工藝實驗 ........................................................................................... 134 實驗一背面減薄虛擬仿真實訓體驗式互動實驗 ........................................................ 134 實驗二晶圓切割虛擬仿真實訓體驗式互動實驗 ........................................................ 141 實驗三第二道光檢虛擬仿真實訓體驗式互動實驗 .................................................... 145 實驗四芯片粘接虛擬仿真實訓體驗式互動實驗 ........................................................ 148 實驗五注塑虛擬仿真實訓體驗式互動實驗 ................................................................ 151 實驗六高溫固化虛擬仿真實訓體驗式互動實驗 ........................................................ 155 實驗七去溢料電鍍虛擬仿真實訓體驗式互動實驗 .................................................... 159 實驗八電鍍退火虛擬仿真實訓體驗式互動實驗 ........................................................ 162 第7 章集成電路綜合設計實驗——二級密勒補償運算放大器設計實驗 ........................ 166 附錄 ........................................................................................................................................... 194 附錄A 2450 型數(shù)字源表使用說明 ............................................................................... 194 附錄B QuartusII VHDL 文本輸入設計方法 ................................................................ 197 參考文獻 ................................................................................................................................... 202

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