本書面向射頻前端系統(tǒng)，采用基于硅通孔(TSV)的三維集成技術(shù)，研究小型化、可集成化無源元件等核心科學(xué)問題，介紹相關(guān)前沿領(lǐng)域和研究進展，重點論述基于TSV的濾波器、分支線耦合器、功分器、變壓器等關(guān)鍵技術(shù)，可為關(guān)鍵前沿領(lǐng)域的戰(zhàn)略研究布局和技術(shù)融通創(chuàng)新提供基礎(chǔ)性、通用性的理論基礎(chǔ)，技術(shù)手段和知識儲備，為推進三維集成技術(shù)在電子信息系統(tǒng)領(lǐng)域的產(chǎn)業(yè)化提供關(guān)鍵技術(shù)儲備和理論支撐。
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國家自然科學(xué)基金面上項目基于TSV技術(shù)的THz波導(dǎo)濾波器及多物理場耦合特性研究，編號61774127，負責(zé)人；
目錄
前言
第1章 緒論 1
1.1 硅通孔三維集成關(guān)鍵技術(shù)概述 1
1.2 國內(nèi)外研究進展 3
1.2.1 TSV技術(shù)研究現(xiàn)狀 4
1.2.2 基于TSV的三維濾波器 5
1.2.3 基于TSV的三維分支線定向耦合器 11
1.2.4 基于TSV的三維功分器 14
1.2.5 基于TSV的三維變壓器 15
1.3 本書主要內(nèi)容及安排 16
參考文獻 17
第2章 基于TSV的毫米波交指型帶通濾波器 24
2.1 基于TSV的毫米波均勻阻抗交指型帶通濾波器 24
2.1.1 奇偶模阻抗法 25
2.1.2 基于TSV的改進耦合系數(shù)法 30
2.2 基于TSV的V波段均勻阻抗交指濾波器設(shè)計 32
2.2.1 結(jié)構(gòu)設(shè)計 32
2.2.2 結(jié)果與分析 37
2.3 基于TSV的W波段均勻阻抗交指濾波器設(shè)計 39
2.3.1 結(jié)構(gòu)設(shè)計 39
2.3.2 結(jié)果與分析 42
2.4 基于TSV的W波段SIR交指型帶通濾波器設(shè)計 46
2.4.1 結(jié)構(gòu)設(shè)計 46
2.4.2 結(jié)果與分析 51
2.5 基于TSV的U波段SIR雙交指型帶通濾波器設(shè)計 57
2.5.1 結(jié)構(gòu)設(shè)計 57
2.5.2 結(jié)果與分析 59
2.6 小結(jié) 63
參考文獻 63
第3章 基于TSV的無反射濾波器設(shè)計 65
3.1 基于TSV的對稱結(jié)構(gòu)無反射濾波器設(shè)計 65
3.1.1 基礎(chǔ)對稱結(jié)構(gòu)無反射濾波器設(shè)計 66
3.1.2 對稱結(jié)構(gòu)無反射濾波器的優(yōu)化 81
3.2 基于TSV的互補雙工無反射濾波器設(shè)計 87
3.2.1 互補雙工無反射濾波器 87
3.2.2 逆切比雪夫型互補雙工無反射濾波器 92
3.2.3 環(huán)路互補雙工無反射濾波器 96
3.3 小結(jié) 102
參考文獻 103
第4章 三維集成共模噪聲抑制濾波器設(shè)計 104
4.1 濾波器原理及主要特性 104
4.1.1 濾波器原理 105
4.1.2 濾波器主要特性 106
4.2 基于全通濾波器的共模噪聲抑制濾波器設(shè)計 106
4.2.1 濾波器拓撲結(jié)構(gòu)設(shè)計 107
4.2.2 電容、電感結(jié)構(gòu)設(shè)計 111
4.2.3 濾波器物理結(jié)構(gòu)設(shè)計 112
4.2.4 特性分析 115
4.2.5 工藝描述 120
4.3 基于低通濾波器的共模噪聲抑制濾波器設(shè)計 122
4.3.1 濾波器拓撲結(jié)構(gòu)設(shè)計 122
4.3.2 電容、電感結(jié)構(gòu)設(shè)計 131
4.3.3 濾波器物理結(jié)構(gòu)設(shè)計 133
4.3.4 特性分析 135
4.3.5 基于LPF 的高階共模噪聲抑制濾波器設(shè)計 139
4.4 小結(jié) 146
參考文獻 147
第5章 基于TSV的分支線耦合器設(shè)計 149
5.1 基于TSV的集總參數(shù)分支線耦合器設(shè)計 149
5.1.1 應(yīng)用π形線圈的分支線耦合器 150
5.1.2 應(yīng)用π形線圈的寬帶分支線耦合器 162
5.1.3 基于TSV的雙頻分支線耦合器 170
5.2 基于TSV的分布參數(shù)分支線耦合器設(shè)計 177
5.2.1 基于同軸TSV和CPW的三維毫米波分支線耦合器 177
5.2.2 基于三維曲折傳輸線的小型化毫米波分支線耦合器 184
5.3 小結(jié) 188
參考文獻 188
第6章 基于TSV的功分器設(shè)計 190
6.1 基于TSV的單頻功分器設(shè)計 190
6.1.1 TSV單頻功分器設(shè)計 191
6.1.2 TSV單頻功分器仿真與分析 194
6.2 基于TSV的雙頻功分器設(shè)計 199
6.2.1 基于集總參數(shù)變化的雙頻功分器設(shè)計與仿真 199
6.2.2 基于頻率變化的雙頻功分器設(shè)計與仿真 209
6.3 小結(jié) 212
參考文獻 213
第7章 基于TSV的變壓器 214
7.1 基于TSV的嵌套結(jié)構(gòu)變壓器 214
7.1.1 結(jié)構(gòu)設(shè)計 214
7.1.2 仿真與分析 217
7.1.3 變壓器設(shè)計中的相關(guān)問題討論 222
7.1.4 制造工藝流程與測試方法 227
7.2 基于TSV的對稱結(jié)構(gòu)變壓器 229
7.2.1 結(jié)構(gòu)設(shè)計 230
7.2.2 仿真與分析 232
7.2.3 等效電路模型建立與驗證 238
7.2.4 制造工藝流程 240
7.3 基于同軸TSV的變壓器 242
7.3.1 結(jié)構(gòu)設(shè)計 242
7.3.2 仿真與分析 242
7.4 小結(jié) 245
參考文獻 246
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