本書在系統(tǒng)介紹半導(dǎo)體廠務(wù)項目工程管理的理論與實踐，為集成電路生產(chǎn)領(lǐng)域的從業(yè)者、高校相關(guān)專業(yè)師生提供一套全面、實用的知識體系，并能深入理解半導(dǎo)體廠務(wù)項目工程管理的核心要素，掌握關(guān)鍵系統(tǒng)的設(shè)計、運行與維護技能，為半導(dǎo)體制造工廠的高效、穩(wěn)定運行貢獻力量。全書共7個單元，具體內(nèi)容為半導(dǎo)體廠務(wù)項目工程管理概述、高低壓電力系統(tǒng)和FMCS的設(shè)計與維護、動力系統(tǒng)的設(shè)計與運行維護、排氣系統(tǒng)的設(shè)計與運行維護、潔凈室系統(tǒng)的設(shè)計與運行維護、氣化系統(tǒng)的設(shè)計與運行維護、純廢水系統(tǒng)的設(shè)計與運行維護。