本書闡述：真空技術(shù)是支撐各行業(yè)的基礎(chǔ)技術(shù)之一，其應(yīng)用范圍非常廣泛，從食品工業(yè)到航天工業(yè)均受益于此，半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)也是如此。真空技術(shù)是實用學(xué)科，需在實踐中掌握。盡管其理論體系復(fù)雜，本書仍力求在保留理論框架的同時簡化表述，并盡量避免公式堆砌，以邏輯化、體系化的方式解讀半導(dǎo)體真空技術(shù)。雖因篇幅限制有所取舍，但希望能助力更多工程師學(xué)以致用。本書旨在搭建一座學(xué)習(xí)的橋梁，通過“理論-案例-實踐”的完整鏈條降低學(xué)習(xí)門檻，并填補(bǔ)半導(dǎo)體專用真空技術(shù)領(lǐng)域相關(guān)圖書的空白。