本書是面向微電子及相關(guān)專業(yè)的試驗(yàn)教程, 以微電子器件制造過(guò)程為主線, 重點(diǎn)闡述學(xué)生在微電子制造技術(shù)學(xué)習(xí)中必須掌握的基礎(chǔ)知識(shí)和試驗(yàn)方法。第1、2章介紹清洗、氧化、擴(kuò)散、離子注入、光刻、刻蝕、沉積等相關(guān)制造工藝的基礎(chǔ)知識(shí)和基礎(chǔ)試驗(yàn), 詳細(xì)闡述各項(xiàng)單步工藝的試驗(yàn)原理、試驗(yàn)設(shè)備、試驗(yàn)方法和步驟。第3章介紹微電子器件制造過(guò)程中的物理性能測(cè)試試驗(yàn)和電學(xué)性能測(cè)試試驗(yàn)。第4章介紹二極管、肖特基二極管、三極管、CMOS管、集成電阻器等器件的制造以及集成運(yùn)算放大器的參數(shù)測(cè)試、邏輯IC功能和參數(shù)的測(cè)試兩個(gè)綜合實(shí)驗(yàn)。

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