本書收入上一年度我國發(fā)布的、新制定的國家標(biāo)準(zhǔn)，順延前年度標(biāo)準(zhǔn)編號分成若干分冊，其內(nèi)容包括：橢圓偏振儀測量硅表面上二氧化硅薄層厚度的方法；掃描隧道顯微術(shù)測定氣體配送系統(tǒng)部件表面粗糙的方法等。